Umidificador de cogumelo com efeito de estufa

Umidificador de cogumelo com efeito de estufa

Controle de sala limpa para controle de umidade

O significado do controle de umidade e umidade relativa da sala limpa: o controle da umidade é uma condição importante para a produção de sala limpa. A umidade relativa é uma condição comum de controle ambiental na operação de sala limpa e sala limpa.

Valores alvo típicos para umidade relativa em salas limpas de semicondutores e salas limpas são controlados na faixa de aproximadamente 30 a 50%, permitindo tolerâncias dentro de uma faixa estreita de ± 1%, como litografia ou em processamento ultravioleta extremo (DUV). menor e pode ser relaxado dentro de ± 5% do resto.

Nos últimos anos, o processo de tratamento do ar foi mantido nestes intervalos prescritos. A umidade relativa tem vários fatores que podem contribuir para o desempenho geral da sala limpa, incluindo:

1, crescimento bacteriano; 2, a equipe se sente faixa de temperatura ambiente confortável; 3, carga estática; 4, corrosão do metal; 5, condensação de vapor de água; 6, degradação litografia; 7, absorção de água.

Bactérias e outros fungos biologicamente contaminados, vírus, fungos e pulgões podem se multiplicar ativamente em ambientes com umidade relativa maior que 60%. Alguma flora pode crescer quando a umidade relativa excede 30%. Quando a umidade relativa está entre 40% e 60%, os efeitos das bactérias e infecções respiratórias podem ser minimizados. A umidade relativa na faixa de 40% a 60% também é uma modesta faixa na qual os humanos se sentem confortáveis. Umidade excessiva pode fazer com que as pessoas se sintam deprimidas, enquanto a umidade abaixo de 30% pode fazer com que as pessoas se sintam ressecadas, com ruptura da pele, desconforto respiratório e desconforto emocional.

A alta umidade na verdade reduz o acúmulo de carga estática na sala limpa e nas superfícies das salas limpas - um resultado que todos esperam. A umidade mais baixa é mais adequada para o acúmulo de carga e uma fonte potencialmente prejudicial de descarga eletrostática. Quando a umidade relativa excede 50%, a carga estática começa a dissipar-se rapidamente, mas quando a umidade relativa é inferior a 30%, ela pode persistir por muito tempo no isolador ou na superfície não aterrada.

Umidade relativa entre 35% e 40% pode ser um compromisso satisfatório. Semicondutores, oficinas livres de poeira e salas limpas geralmente usam controles adicionais para limitar o acúmulo de carga estática. A velocidade de muitas reações químicas, incluindo o processo de corrosão, aumentará à medida que a umidade relativa aumenta. Todas as superfícies expostas à sala limpa e ao ar que circunda a sala limpa são rapidamente cobertas com pelo menos uma monocamada de água. Quando essas superfícies são compostas por um revestimento de metal fino que pode reagir com a água, a alta umidade pode acelerar a reação. Felizmente, alguns metais, como o alumínio, podem formar um óxido protetor com água e evitar novas reações de oxidação. Em outro caso, por exemplo, óxido de cobre, não é protetor, então é alto. Em um ambiente úmido, a superfície de cobre é mais suscetível à corrosão.

Pode ser visto que a oficina livre de poeira tem requisitos rígidos ou mesmo rigorosos de umidade, e o desumidificador resolve bem este problema no controle de umidade. O desumidificador pode resolver fundamentalmente os rigorosos requisitos de temperatura e umidade na oficina livre de poeira.

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